电子水平仪是具有一个基座测量面，以电容摆的平衡原理测量被测面相对水平面微小倾角的测量器具。电子式水平仪，它用来测量高精度的工具机，如NC车床、铣床、切削加工机、三次元量床等床面，其灵敏度非常高，若以测量时可左右偏移25刻度计算，测量工件只在一定的倾斜范围内均可测量。
电子水平仪原理有电感式和电容式等两种。根据测量方向不同还可分为一维和二维电子水平仪。电感式原理：当水平仪的基座因待测工件倾斜而倾斜时，其内部摆锤因移动所造成感应线圈的电压变化。电容式水平仪其测量原理为一圆形摆锤自由悬挂在细在线，摆锤受地心重力所影响，且悬浮于无摩擦状况。摆锤的两边均设有电极且间隙相同时电容量是相等，若水平仪受待测工件所影响而造成，两间隙不同距离改变即产生电容不同，形成角度的差异。
水平仪分气泡式水平仪，电子式水平仪。
气泡式又根根外形不同可分为条式，直角式，框式，圆形，T形，连通器等等型号。
电子式水平仪可分为平面式和直角式。
气泡式最高灵敏度为0.02mm/m，电子式最高灵敏度为0.001mm/m。
