金刚石线锯也称为金刚线,是指利用电镀工艺或树脂结合的方法,将金刚石磨料固定在金属丝上。20世纪90年代,国际上为了解决大尺寸硅片的加工问题,采用了线锯加工技术将硅棒切割成片。早期的线锯加工技术是采用裸露的金属线和游离的磨料,在加工过程中,将磨料以第三者加入到金属线和加工件之间产生切削作用。这种技术被成功地用于对硅和碳化硅的加工。为了进一步缩短加工时间,以及对其它坚硬物质和难以加工的陶瓷进行加工,人们将金刚石磨料以一定的方式固定到金属线上,从而产生了固定金刚石线锯。
1、电镀型:用电镀的方法在金属丝上沉积一层金属(一般为镍和镍钴合金),并在金属内固结金刚石磨料制成的一种线性超硬材料工具。金属镀层是结合剂,金刚石磨料用于切割加工。
电镀金刚石线锯根据需要可制成不同的直径和长度;线锯可以装在不同的设备上形成不同的加工方式,如往复循环(锯架)式、高速带锯式、线切割式等。对硬脆材料的加工,线锯不仅可以切割薄片,也可加工曲面,更可以用于小孔的研修,其应用前景广阔。目前国内生产电镀金刚石线锯比较成熟的企业有南京三超新材料股份有限公司,研发投入较早,技术实力雄厚。
2、树脂型:利用树脂作为结合剂将金刚石磨料固结在金属丝上。
(1)与游离磨料线锯相比,其加工效率更高,能耗更低;
(2)可避免烧结金刚石工具制造过程中的混料、制粒、烧结、焊接(或注塑)等繁琐工序;
(3)可用于对电子放电加工Ⅱ)M无法加工的非导体进行加工;
(4)金刚石线锯缠绕在滚筒周围,可以同时对加工件(如硅棒)进行多次切割,并且可以同时对多个加工件进行加工;
(5)由于烧结金刚石线锯串珠之间存在间距,间距部分可能过早地磨损导致钢丝(线)的断裂[6’7],而电镀金刚石线锯中金刚石的连续分布,可避免线锯的过早断裂;
(6)与圆锯和带锯相比,线锯能灵活地改变切割方向,可以用于加工复杂的几何形状;
(7)由于线锯直径小(一般<1ram),加工时切口损失小,这对于成本昂贵的半导体和宝石的加工具有重要的意义。
1、太阳能领域:单晶硅硅棒或多晶硅硅锭的切方;硅片的切片。
2、LED领域:蓝宝石晶棒开方、切片。
3、其他领域:钕磁石或铁素体磁石等磁性材料;碳化硅及其他难切材料、各种基板;水晶切片;陶瓷切割。
一、金刚石
为了使金刚石磨料更加牢固的附着在钢丝上,需要对金刚石进行处理预处理,就是对金刚石进行镀衣,即在金刚石表面均匀的覆盖一层镍金属(或其他金属),这种金刚石叫做镀镍金刚石。
镀镍金刚石产品性价比不错,有以下优点:
1、采用先进的复合镀覆工艺,产品镀层致密,磨削能力高;
2、镀镍刺产品表面粗糙度大,与结合剂的把持力高;
3、散热能力强,所得制品寿命延长;
4、产品露镀、连晶少;
5、GHN系列产品自锐性强,能够保持良好的磨削效率和使用寿命。
二、裸线
裸线也就是金刚石附着的一根母线,一般是采用金属线,将金刚石通过电镀和树脂结合方式均匀固定在裸线的外周围,同时裸线还要保持一定的强度和韧性保证金刚线不会断裂或折断。